Contrôle de la poussière pour les semi-conducteurs

Dépoussiérage du plateau de gaufrettes

Le plateau de plaquettes est un dispositif mécanique installé dans le module frontal qui est chargé de recevoir la boîte de plaquettes livrée par l'équipement de manipulation de plaquettes. Il est généralement utilisé conjointement avec le port de chargement comme port interactif entre l'équipement semi-conducteur et la ligne de production.

Dans l'atelier de production, le FOUP est placé sur le port de chargement. En raison des exigences élevées en matière de qualité de l'air (niveau ISO 5), la salle blanche et le système de processus doivent être nettoyés régulièrement. Le but est d'éviter toute contamination croisée sur la plaquette de silicium et, à terme, d'éliminer les défauts de la puce.

Solutions

Étant donné que les processus de fabrication de diverses tranches sont extrêmement sophistiqués et complexes, le niveau de dépoussiérage de chaque processus est très élevé. Le dispositif de dépoussiérage doit avoir les caractéristiques d'un nettoyage sans contact et rapide, d'une élimination rapide des corps étrangers et d'une installation facile.