Contrôle de la poussière pour les semi-conducteurs

Traitement de la poussière de meulage de plaquettes

Le dépoussiéreur à grand volume développé conformément aux exigences en matière d'émissions environnementales est principalement utilisé dans les équipements de polissage de tranches de l'industrie des semi-conducteurs pour traiter de grandes quantités de poudre de silicium inflammable et explosive générée pendant le processus de meulage de tranches.

Solutions

L'équipement VW-150wafer Fab combine principalement le dépoussiérage par cyclone et le dépoussiérage par pulvérisation, de sorte que la poudre de silicium soit entièrement capturée par le brouillard d'eau pulvérisé par la buse haute pression pour former un mélange poussière-eau, qui se dépose dans le seau de collecte. en raison de la gravité et déchargé vers l'extérieur par l'orifice de trop-plein pour terminer le dépoussiérage.